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    • URE-2000/35型紫外光刻機
      URE-2000/35型紫外光刻機

      更新時間:2021-07-08

      型號:

      瀏覽量:986

      URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制。
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    • TYG-2000/T2步進投影光刻機
      TYG-2000/T2步進投影光刻機

      更新時間:2021-03-15

      型號:

      瀏覽量:389

      TYG-2000/T2步進投影光刻機,照明系統:冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節臺; 光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇
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    • DS-2000/14G型光刻機
      DS-2000/14G型光刻機

      更新時間:2021-03-15

      型號:

      瀏覽量:415

      DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源,用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板,采用積木 錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明
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