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    URE-2000/35型紫外光刻機

    簡要描述:URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2021-07-08
    • 訪  問  量:988

    詳細介紹

    品牌其他品牌價格區間面議
    儀器種類微流控芯片系統應用領域醫療衛生,環保,電子

     

    產品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機
    主要技術指標:
    曝光面積:100mm×100mm
    分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)
    對準精度:±0.8μm
    大膠厚:300μm(SU8膠)
    掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
    樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
    照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍)
    汞燈功率:350W(直流)
    掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
    URE-2000/35型紫外光刻機技術特點:
    創新采用三柔性支點實現高精度自動調平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明;可連續設定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。

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